One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	ONE-XY60	ONE-XY100	ONE-XY200	ONE-XY300
電動軸	XY	XY	XY	XY
行程范圍	50 mm	90 mm	190 mm	290 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	50 nm	50 nm	50 nm	50 nm
最大加速度	0.3 G	0.3 G	0.2 G	0.2 G
連續(xù)運動力	10 N	10 N	20 N	53 N
峰值驅(qū)動力	21 N	21 N	42 N	107 N
中心負載能力	100 N	120 N	150 N	350 N
精度，典型值	±0.4 µm	±0.5 µm
精度，保證值 1	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.0 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.040 µm	±0.040 µm
平面度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
直線度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保證值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
偏擺，典型值	±15 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
滾轉(zhuǎn)，典型值	±29 µrad	±29 µrad	±36 µrad	±24 µrad
正交性 2	96 µrad	96 µrad	96 µrad	96 µrad
原點重復(fù)精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m
寬度	125 mm	184 mm	275 mm	500 mm
重量	2.9 kg	5.8 kg	12 kg	75 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

高精度（HA）版本可供選擇。在安裝表面上方 50 毫米處，位移臺中心線上測量的規(guī)格。 Newport 提供 NIST 可追溯的測試結(jié)果。

1. 對于ONE-XY-HA 版本，保證精度有所不同。

2. 對于ONE-XY-HA 版本，垂直度降低到 5 µrad。

One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺特征

剛度增強

為實現(xiàn)更好的穩(wěn)定性，交叉滾子軸承的寬間隔和厚中間板確?？舍槍冶圬撦d提供更高的剛度。

微米級平直度和平整度

由于 ONE-XY 精密的表面處理和交叉滾子軸承，它實現(xiàn)了微米級的平直度和平整度。

無鐵心線性電機

高效率，無鐵心線性電機具有更高的速度、加速度和系統(tǒng)響應(yīng)性的優(yōu)點，而不會磨損電機電刷或驅(qū)動螺桿，從而顯著減少發(fā)熱量。此外，無鐵心線性電機的非齒槽特性確保了出色的速度穩(wěn)定性。無鐵心電機不僅可以提供這些優(yōu)點，還能實現(xiàn)高產(chǎn)量和高可靠性。

集成的 X 軸 和 Y 軸

ONE-XY 最顯著的特點是其 3 板設(shè)計，同時允許在 X 和 Y 方向上移動，且比堆疊平移臺更薄。設(shè)計中內(nèi)置有正交性，因此提高了 XY 精度。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis