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超快極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡

簡(jiǎn)要描述:UltraFast Innovations (UFI)極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡
設(shè)計(jì)用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脈沖
具有38%峰值反射率的多層鍍膜
≤1Å 表面粗糙度超拋光基底
另外提供專(zhuān)為 13.5nm 設(shè)計(jì)的極紫外(EUV)平面反射鏡 和 極紫外(EUV)球面反射鏡
備有現(xiàn)貨庫(kù)存
無(wú)最小起訂量、無(wú)鍍膜批次費(fèi)用

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

經(jīng)銷(xiāo)商

更新時(shí)間

2025-09-16

瀏覽次數(shù)

1265
詳細(xì)介紹
品牌Edmund Optics價(jià)格區(qū)間面議
組件類(lèi)別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域綜合

UltraFast Innovations (UFI)極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡

設(shè)計(jì)用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脈沖

具有38%峰值反射率的多層鍍膜

≤1? 表面粗糙度超拋光基底

另外提供專(zhuān)為 13.5nm 設(shè)計(jì)的極紫外(EUV)平面反射鏡 和 極紫外(EUV)球面反射鏡

備有現(xiàn)貨庫(kù)存

無(wú)最小起訂量、無(wú)鍍膜批次費(fèi)用


通用規(guī)格

直徑 (mm):
25.40 ±0.13
基底:
Fused Silica (Corning 7980)
后表面:
Commercial Polish
涂層規(guī)格:
Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂層:
EUV Multilayer (19nm)
入射角 (°):
5
有效孔徑 (%):
80
設(shè)計(jì)波長(zhǎng) DWL (nm):
19
邊緣:
Fine Ground
表面粗糙度(埃):
<1
Center Energy (eV):
65 ±2
Bandwidth (eV):
6
Supported Pulse Duration:
330 attoseconds
邊緣厚度 ET (mm):
6.35 ±0.20


型號(hào)

產(chǎn)品編碼 標(biāo)題 
#16-76525.4mm Dia., 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Flat Mirror
#16-76625.4mm Dia. x 250mm EFL, 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Concave Mirror
#16-76725.4mm Dia. x 500mm EFL, 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Concave Mirror

詳細(xì)資料

UltraFast Innovations (UFI)的極紫外光(EUV/XUV)阿秒多層反射鏡設(shè)計(jì)用于阿秒脈沖的轉(zhuǎn)向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65eV(19nm),帶寬為6eV(1.8nm),為 S 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續(xù)時(shí)間為330阿秒的極紫外(EUV)脈沖。 UFI極紫外(EUV/XUV)阿秒反射鏡是基于高次諧波(HHG)、自由電子激光器(FEL)或其他量子光學(xué)應(yīng)用產(chǎn)生和整形阿秒脈沖的理想選擇。

原子般精密的離子束沉積可以獲得原子般光滑的鍍膜。這些反射鏡能夠在不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用空間中高效精確地控制波長(zhǎng)和光譜相位。亞秒科學(xué)突破了超快激光器的極限,提供了接觸一些最基本的科學(xué)過(guò)程的機(jī)會(huì),如:電子的運(yùn)動(dòng)。極紫外(EUV)反射鏡也被稱(chēng)為XUV/軟X射線(xiàn)反射鏡。極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡背后的物理原理是來(lái)自多層膜堆疊的每個(gè)界面反射和散射 EUV 輻射的干涉??商峁┲睆綖?5.4mm的平面反射鏡和凹面反射鏡;如果您的應(yīng)用需要定制中心能量、帶寬或其他規(guī)格的極紫外(EUV)多層反射鏡,請(qǐng)與我們聯(lián)系。

技術(shù)數(shù)據(jù)

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